氙氣EUVLAMP是放射172nm的真空紫外線燈管。

利用172nm及大氣中發生的臭氧，運用于半導體晶圓或液晶玻璃基板的表面光洗凈。

另外，在樹脂或橡膠材料的表面改質上也有使用。

發光長276mm、580mm、1130mm、1530mm等均可提供。

用途

1．FPD（LCD或PDP等）的VUV/O3洗凈（去除有機物）；

2．半導體的VUV/O3洗凈（去除有機物）及表面改質；

3．各種光化學實驗玻璃膜的粘合；

4．表面改質；

5．光阻材料殘渣處理；

6．除電等。

高輸出低壓紫外線燈管是一種管式、燈弧長較長、

能放射波長185nm和254nm的紫外線燈管。

需要光洗凈、光處理等強力紫外線為用途的最優光源、

其次在上下水道的凈化，殺菌等大范圍用途下有使用。

用途

1．FPD（LCD或PDP等）的VUV/O3洗凈（去除有機物）；

2．空氣、水體殺菌消毒。

凈水·殺菌裝置

FPD用光洗凈裝置

低壓紫外線熒光燈管（UV-FL）能放射波長300~400nm的紫外線。

特征：1、照射波長能夠選擇；2、一般用熒光燈管的燈具可以使用；

3、根據要求，燈管管長可以進行選擇。

用途

1．液晶面板的光配向膜制造工程用；

2．膜的表面處理用。

228燈露光裝置

高壓UV燈管分長弧的高壓與短弧的超高壓；

長弧系列為放射254nm與365nm的高壓UVLAMP（1~3氣壓）；

在水銀蒸氣中進行電弧放電的是高壓水銀燈；

封入金屬化合物，在長波長領域中較大范圍發光的是金屬鹵素燈；

壽命保證：1000Hr 維持率70%以上（燈管的冷卻條件不同而有變動）

用途

1．紫外線固化、干燥用；

2．ODF固化用；

3．PSA裝置搭載燈管；

4．印刷、填充裝置用。

發光長（mm）

100-1850

管徑（mm）

Φ23、Φ25、Φ27.5

燈電壓（V）

100-2900

燈電流（A）

燈管功率（W）

1K-33.6K

中心波長（nm）

超高壓UV燈管是短弧類型；

放射365nm（i線）、405nm（h線）、436nm（g線）的燈管；

燈管功率：250W、750W、1000W等

用途

1．半導體制造的曝光裝置或液晶的周邊曝光用；

2．DVD、B-Ray等的粘合、連接用；

3．精密部品、晶片等的連接。

曝光裝置

1.豐富實績

2.高品質

3.Module對應

4.Custom對應

5.Cost對應

中國大陸、日本、韓國、中國臺灣都有制造商長期使用東芝各種UVLamp，有著豐富的市場實績。

生產工藝復雜，技術要求高，東芝長期培養的光學技術和制造訣竅，可提供日本制造的高品質UVLamp。

可提供使用光學、散熱、機械、電源等各種設計技術的裝置；具備各種光源Line Up，提供多種解決方案。

東芝高品質紫外光源加工定制服務，能夠符合貴司使用狀況的調整對應，有問題可與我們聯系解決。

推進零部件·制造方法的優化、自動化設備的引進、提出符合用途的規格，有助于降低運行成本。

① 使用目的燈的種類

② 必要的紫外線量

③ 燈的外形（全長?管徑?有效發光長?燈頭形狀等）

④ 電氣特性（額定電壓?額定電力）

⑤ 給電方式（逆變器or 電磁式）

⑥ 使用環境

采用的紫外線光源應該能夠最大限度放射被照射物所需要的波長（＝吸收波長）→ 制造效率UP → 減少成本